Masini Lithography Fa'atulagaina o Ufimata Masini Fa'aata Ata
Fa'atomuaga o le oloa
O le puna o le malamalama e faʻaaogaina ai le UV LED faʻaulufale mai ma le vaega o le faʻatulagaina o puna o le malamalama, faʻatasi ai ma le vevela itiiti ma le mautu lelei o le puna o le malamalama.
O le fausaga moli fa'alava e iai le aafiaga lelei o le fa'ate'aina o le vevela ma le aafiaga o le tapunia o le puna o le malamalama, ma o le sui ma le tausiga o le moli mercury e faigofie ma talafeagai. Fa'apipi'iina i le microscope binocular lua-fanua maualuga ma le lau LCD e 21 inisi le lautele, e mafai ona fa'atulaga va'aia e ala i le
mata tioata po'o le fa'aaliga CCD +, fa'atasi ai ma le sa'o maualuga o le fa'atulagaina, fa'agasologa faigofie ma le fa'agaoioiga faigofie.
Fa'aaliga
Faatasi ai ma le galuega faatino o le faagasologa o vaega
O le fa'atulagaina o le mamafa o le feso'ota'iga e fa'amautinoa ai le toe faia e ala i le sensor
E mafai ona setiina fa'atekinolosi le vaeluaga o le fa'atulagaina ma le vaeluaga o le fa'aalia
Fa'aaogaina o le komepiuta fa'apipi'i + fa'agaioiga o le lau pa'i, faigofie ma talafeagai, matagofie ma limafoa'i
Toso le ituaiga i luga ma lalo o le ipu, faigofie ma talafeagai
Lagolago le fa'aalia o le pa'i atu i le masini e aunoa ma le masini e fa'a'asu ai, fa'aalia o le pa'i atu i le malosi, fa'aalia o le pa'i atu i le mamafa ma le fa'aalia o le latalata
Fa'atasi ai ma le galuega fa'atino o le atina'e nano imprint
Fa'aaliga vaega e tasi ma le ki e tasi, tikeri maualuga o le otometi
O lenei masini e lelei lona faʻatuatuaina ma faigofie ona faʻaalia, aemaise lava mo le aʻoaʻoina atu, suʻesuʻega faasaienisi ma falegaosimea i Kolisi ma iunivesite.
Fa'amatalaga atili
Fa'amatalaga
1. Eria e faʻaalia ai: 110mm × 110mm;
2. ★ Galue o le galu e faʻaalia ai: 365nm;
3. Iugafono: ≤ 1m;
4. Sa'o o le fa'atulagaina: 0.8m;
5. E tatau i le lautele o gaioiga o le laulau su'esu'e o le faiga fa'atulagaina ona ausia le itiiti ifo i le: Y: 10mm;
6. E mafai ona fealua'i eseese paipa moli agavale ma taumatau o le faiga fa'atulagaina i itu X, y ma le Z, itu X: ± 5mm, itu Y: ± 5mm ma le itu Z: ± 5mm;
7. Tele o le ufimata: 2.5 inisi, 3 inisi, 4 inisi, 5 inisi;
8. Tele o le faʻataʻitaʻiga: fasi vaega, 2", 3", 4";
9. ★ Talafeagai mo le mafiafia o le faʻataʻitaʻiga: 0.5-6mm, ma e mafai ona lagolagoina le tele o fasi faʻataʻitaʻiga e 20mm (faʻapitoa);
10. Faiga o le fa'aalia: taimi (faiga o le faitauga i lalo);
11. Le tutusa o moli: <2.5%;
12. Mikroskopio fa'atulagaina CCD fanua lua: tioata fa'alautele (1-5 taimi) + tioata fa'amoemoe o le mikroskopio;
13. O le saoasaoa o le gaioiga o le ufimata e faʻatatau i le faʻataʻitaʻiga e tatau ona fetaui ma le itiiti ifo: X: 5mm; Y: 5mm; : 6º；
14. ★ Mafiafia o le malosi o le fa'aaliga: > 30MW / cm2,
15. ★ E galue le tulaga fa'atulagaina ma le tulaga fa'aalia i nofoaga e lua, ma e otometi lava ona fesuia'i le afi servo o nofoaga e lua;
16. O le fa'amautuina o le mamafa o feso'ota'iga e fa'amautinoa ai le toe faia e ala i le sensor;
17. ★ E mafai ona setiina faafuainumera le vaeluaga o le faatulagaga ma le vaeluaga o le fa'aalia;
18. ★ E iai lona atina'e nano imprint ma le atina'e proximity;
19. ★ Fa'agaoioiga o le lau pa'i;
20. Fua lautele: E tusa ma le 1400mm (umi) 900mm (lautele) 1500mm (maualuga).
